湿敏电容湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。湿敏电容的主要优点是灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化，其精度一般比湿敏电阻要低一些。
国外生产湿敏电容的主厂家有humirel公司、philips公司、siemens公司等。以humirel公司生产的sh1100型湿敏电容为例，其测量范围是(1%～99%)rh，在55%rh时的电容量为180pf(典型值)。当相对湿度从0变化到1时，电容量的变化范围是163pf～202pf。温度系数为0.04pf/℃，湿度滞后量为±1.5%，响应时间为5s。除电阻式、电容式湿敏元件之外，还有电解质离子型湿敏元件、重量型湿敏元件(利用感湿膜重量的变化来改变振荡频率)、光强型湿敏元件、声表面波湿敏元件等。湿敏元件的线性度及抗污染性差，在检测环境湿度时，湿敏元件要长期暴露在待测环境中，很容易被污染而影响其测量精度及长期稳定性。
特点目前，国外生产集成湿度传感器的主要厂家及典型产品分别为honeywell公司(hih-3602、hih-3605、hih-3610型)，humirel公司(hm1500、hm1520、hf3223、htf3223型)，sensiron公司(sht11、sht15型)。这些产品可分成以下三种类型：线性电压输出式集成湿度传感器典型产品有hih3605/3610、hm1500/1520。其主要特点是采用恒压供电，内置放大电路，能输出与相对湿度呈比例关系的伏特级电压信号，响应速度快，重复性好，抗污染能力强。线性频率输出集成湿度传感器典型产品为hf3223型。它采用模块式结构，属于频率输出式集成湿度传感器，在55%rh时的输出频率为8750hz(型值)，当相对湿度从10%变化到95%时，输出频率就从9560hz减小到8030hz。这种传感器具有线性度好、抗干扰能力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点。频率/温度输出式集成湿度传感器典型产品为htf3223型。
它除具有hf3223的功能以外，还增加了温度信号输出端，利用负温度系数(ntc)热敏电阻作为温度传感器。当环境温度变化时，其电阻值也相应改变并且从ntc端引出，配上二次仪表即可测量出温度值。单片智能化湿度/温度传感器2002年sensiron公司在世界上率先研制成功sht11、sht15型智能化湿度/温度传感器，其外形尺寸仅为7.6(mm)×5(mm)×2.5(mm)，体积与火柴头相近。出厂前，每只传感器都在温度室中做过精密标准，标准系数被编成相应的程序存入校准存储器中，在测量过程中可对相对湿度进行自动校准。它们不仅能准确测量相对温度，还能测量温度和露点。测量相对温度的范围是0～1，分辨力达0.03%rh，精度为±2%rh。测量温度的范围是-40℃～+123.8℃，分辨力为0.01℃。
测量露点的精度<±1℃。在测量湿度、温度时a/d转换器的位数分别可达12位、14位。利用降低分辨力的方法可以提高测量速率，减小芯片的功耗。sht11/15的产品互换性好，响应速度快，抗干扰能力强，不需要外部元件，适配各种单片机，可广泛用于医疗设备及温度/湿度调节系统中。芯片内部包含相对湿度传感器、温度传感器、放大器、14位a/d转换器、校准存储器(e2prom)、易失存储器(ram)是、状态寄存器、循环冗余校验码(crc)寄存器、二线串行接口、控制单元、加热器及低电压检测电路。其测量原理是首先利用两只传感器分别产生相对湿度、温度的信号，然后经过放大，分别送至a/d转换器进行模/数转换、校准和纠错，最后通过二线串行接口将相对湿度及温度的数据送至μc。鉴于sht11/15输出的相对湿度读数值与被测相对湿度呈非线性关系，为获得相对湿度的准确数据，必须利用μc对读数值进行非线性补偿。

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